覆旦大學微電子學院團隊最近在《自然·通訊》雜志上發表了題為《全無機鈣鈦礦多功能集成光子器件》的研究成果。這項研究聚焦於利用全無機鈣鈦礦材料制造多功能集成光子器件，以推動信息處理與計算科學領域的突破。
研究團隊采用化學氣相沈積法制備出高質量的銫鉛溴（CsPbBr3）單晶鈣鈦礦薄膜，並利用聚焦離子束刻蝕技術在其上精確刻出不同形狀和尺寸的微納結構。通過這一方法，成功制備出了微米線激光器，展現出高度相幹的光子型激射，其激射閾值為48.7 μJ/cm2，品質因子高達2460。
在此基礎上，研究團隊進一步制備了多種多功能的集成光子器件，包括波導耦合器、Y型分束器、X型耦合器和馬赫-曾德爾幹涉儀等。這些器件不僅展示了無機鈣鈦礦在傳統光電子器件中的應用，還顯示了單晶薄膜作為光源和操作元件在半導體集成光子器件中的潛力。
研究團隊表示，這一成果得益於跨學科合作和先進的制造技術，未來他們將繼續探索無機鈣鈦礦材料的新功能和應用，以期在光子學和光電子學領域取得更多創新性成果。 參考文獻及圖片來源：
微电子学院季力教授团队研发基于全无机钙钛矿的多功能集成光子器件；
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